的电力成本以及产品的良品率。”
“一个拥有三四台光刻机的晶圆厂,每年光电费就要上千万...”孟谦下意识的接了一句。
“目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距,高达两倍。”何文康往右边走了几步,“从能量控制器出来的能量会进入光束形状设置装置,不同的光束会带来不同的光学效果。
再过去就是能量探测器了,刚才我也说了,能量的误差会直接影响到良品率,所以这里算是对能量的二次确认,能量探测器下面那个东西叫掩模版,这东西本质上就是一个刻着芯片线路的玻璃,类似于相机的底片。
但就这么一块破玻璃,孟总猜猜看多少钱?”
孟谦想了想道,“何总直接说答案吧。”
何文康淡淡一笑,“一块破玻璃,一百万。”
说完,何文康示意孟谦向右走两步,“掩模版下面这一块就是最重要的东西了,物镜,孟总可以数一数,这里总共有20多块镜片,通过这20多块镜片,将掩膜版上的电路图按比例缩小,再被激光映射到硅片上,同时物镜还要补偿各种光学误差。
这个东西,孟总也很清楚,咱们搞不定。
下面这两个平台是测量台和曝光台,正常流程,先测量,再曝光,整个测量台的精度是纳米级的,差1纳米都不行,我们用的自动调焦系统,是米国人设计的。
好了,这就是一台从表面上能看到的光刻机,但技术却不仅只是这些,就比如看到这里的传输带了么,这是传输系统,同样是纳米级的,而且加速系统是航空水平,整个光刻机还需要减震系统,环境控制系统,整机控制系统,自动化操作系统等等。
这就是光刻机,一个把它模块化之后,每一个模块的难度都是一个缩小版光刻机的东西。”
何文康突然有点自言自语的感觉,也不知道这话到底是说给孟谦听的还是说给自己听的。
两人同时在光刻机前沉默驻足,各自有各自的思考。
何文康在回忆自己过去所做的一切,孟谦在思考自己未来该做的一切。
几分钟后,两人无意的对视了一眼,四目相视之间,何文康突然嘴角上扬,再次看向光刻机,“半导体行业真是个吞噬梦想的地方啊。
走吧孟总,我带你去见见工厂的几个领导。”
“等等。”孟谦喊住了何文康,“我突然有个想法,何总要不要陪我玩个游戏?”
“游戏?”何文康一脸懵。
“嗯,玩个读心术的游戏。”孟谦笑着解释,“我们彼此出题,出一些关于工厂员工的题,我们两个人同时回答,由蔡哥去询问答案,看看我们两谁猜得准如何?”
何文康更不解了,“孟总这是何意?”
“何总要是不嫌弃我幼稚的话,且陪我玩玩吧。”孟谦意味深长的一笑。
看着孟谦的
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